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优惠真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备

更新时间:2010-01-01 00:00:00
价格:请来电询价
型号:TH-135-12P
材质:不锈钢
联系电话:86-01080498662
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联系人:司书超
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详细介绍

低价优惠真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备

 

本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。

适用于:物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备; 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。

应用原理:                        

  在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

  深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8torr、10-5pa)。

主要的性能特点

1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;

2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,Zui低可到-150℃;

  3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;

4、一台设备可设计两路负载输出;

5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;

6、完善的自动化控制;

7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示;

8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;

9、除霜温度自由设定;

10、具有水温温度、排气温度显示;

11、缺水、水温过高报警;  

12、压缩机排气过高、压力过高保护;

13、电源断电、缺相报警;

14、可本地、远程控制自由转换;

15、r232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。

 

型号

th-135-3p

th-135-5p

th-135-7p

th-135-10p

th-135-12p

th-135-15p

压缩机功率(kw)

2.8

4.6

6.3

8.5

10.1

12.3

工作温度(℃)

-120℃至-150℃

抽气速度(l/s)

30600

51000

73,000

101,000

153,000

250,000

制冷量(w)

300

500

1200

1800

2500

3500

冷凝管表面积(m2)

0.15

0.3

0.5

0.7

1.0

2.   0

冷凝管长度

8m,φ6mm

10m,φ10mm

12m,φ12mm

14m,φ16mm

24m,φ16mm

40m,φ16mm

预冷时间(min)

≤30

≤30

≤30

≤30

≤40

≤40

降温时间(min)

≤5

≤5

≤5

≤5

≤6

≤7

除霜时间(min)

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

再降温时间(min)

≤5

≤5

≤5

≤5

≤6

≤6

适用油扩散泵径(mm)

≤300

≤500

≤800

≤1000

双路输出

双路输出

冷却方式

风冷、水冷(t≤30℃)

水冷(t≤30℃)

水冷(t≤30℃)

水冷(t≤30℃)

水冷(t≤30℃)

适用腔体直径(mm)

≤900

≤1300

≤1500

≤1700

≤2000

联系人 宋雅楠:
联系电话

 

本产品的品牌是Siemens/西门子,型号是TH-135-12P,材质是不锈钢,驱动方式是电动,用途是其他,原理是真空泵,功率是10.1P

联系方式

  • 地址:北京 北京市海淀区清缘西里6号楼2607(住宅)
  • 邮编:101300
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  • 主管:司书超
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  • 传真:010-80498522
  • Email:tianhan@tiandijingyi.com
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