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天寒水汽捕集泵、低温深冷泵

更新时间:2013-09-21 11:48:25
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详细介绍

天寒水汽捕集泵、低温深冷泵

-135℃水汽捕集泵   -135℃ water vapor cryopump
(提供polycold冷媒及维修)
水汽捕集泵 又称:polycold、快速循环水汽深冷泵
应用原理:
    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,
但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。
深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
    深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,
迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、
获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 torr、10-5 pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类:
1、水汽捕集器
    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。
适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,
避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。 
2、低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。
由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装。
 
 北京天地精仪公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、
进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、
温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
  主要的性能特点

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